Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jöhrmann, Nathanael ; Stöckel, Chris ; Wunderle, Bernhard
Accelerated Stress Testing for High-Cycle Fatigue of thin Al Films on piezo-driven MEMS Cantilever
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-6654-9229-4 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-6654-9230-0 ; Electronic ISSN: 2474-1523 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2474-1515 | |
| DOI: | doi:10.1109/therminic57263.2022.9950638 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/9950638 | |
| Quelle: | 2022 28th International Workshop on Thermal Investigations of ICs and Systems (THERMINIC), 28-30 September 2022, Dublin, Ireland. - IEEE, 2022 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | micromechanical devices , fatigue , surface roughness , thin film , accelerated stress test | |
Bemerkung: |
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