Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Saeidi, Nooshin ; Selvam, Karman ; Tortato, Felipe ; Wiemer, Maik ; Kuhn, Harald
High Precision Liquid Level and Leak Detection Based on Capacitive Micromachined Ultrasound Transducer
Hochpräzise Füllstands- und Leckageerkennung mit kapazitivem mikromechanischem Ultraschallwandler
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN:978-1-6654-8849-5 ; Print on Demand(PoD) ISBN:978-1-6654-8850-1 | |
| DOI: | doi:10.1109/SSI56489.2022.9901430 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=9901430&tag=1 | |
| Quelle: | 2022 Smart Systems Integration (SSI), 2022 April 27-28, Grenoble (France). - IEEE, 2022. - 22114752 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | CMUT , MEMS-Ultraschall , Ultraschall-Füllstandsmessung , Temperatur-Sensoren , Temperaturmessung , Flüssigkeiten , Ultraschallbildgebung , Wandler , Messung von Ultraschallgrößen , Systemintegration | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | CMUT , MEMS ultrasound , Ultrasonic liquid level measurement , Temperature sensors , Temperature measurement , Liquids , Ultrasonic imaging , Transducers , Ultrasonic variables measurement , System integration |
