Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jöhrmann, Nathanael* ; Osipova, Valentina ; Breitenreiner, Sebastian ; Pufall, Reinhard ; Wunderle, Bernhard
In-Situ Degradation Monitoring of Sputtered Thin Al Films on Si Cantilevers Inside SEM During Accelerated Stress Testing using Nano-Indenter Actuation and Vibration Loading
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN:978-1-6654-1896-6 ; Print on Demand(PoD) ISBN:978-1-6654-1897-3 ; Electronic ISSN: 2474-1523 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2474-1515 | |
| DOI: | doi:10.1109/therminic52472.2021.9626510 | |
| Quelle: | 27th Therminic Conf., Sept. 23, 2021, Berlin, Germany1, pp. 1-6. - IEEE, 2021 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | accelerated stress testing , thin metal film , in-situ , AFM , EBSD | |
Bemerkung: |
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