Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Osipova, Valentina ; Johrmann, Nathanael ; Heilmann, Jens ; May, Daniel ; Arnold, Jörg ; Bieniek, Tomasz ; Pufall, Reinhard ; Wunderle, Bernhard
Using AFM Measurements for Failure Indication During High-Cycle Fatigue Testing of thin Metal Films on MEMS Cantilevers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN:978-1-6654-1373-2 ; Print on Demand(PoD) ISBN:978-1-6654-1374-9 | |
| DOI: | doi:10.1109/eurosime52062.2021.9410876 | |
| Quelle: | 22nd International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE). - IEEE, 2021 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | AFM , fatigue , thin sputtered aluminium layers , disruption , degradation , silicon cantilevers | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
