Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Shaikh, M. S. ; Wang, Mao* ; Hübner, R. ; Liedke, M. O. ; Butterling, M. ; Solonenko, D. ; Madeira, T. I. ; Li, Zichao ; Xie, Yufang ; Hirschmann, E. ; Wagner, A. ; Zahn, Dietrich R. T. ; Helm, M. ; Zhou, Shengqiang
Phase evolution of Te-hyperdoped Si upon furnace annealing
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0169-4332 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.apsusc.2021.150755 | |
| Quelle: | In: Applied Surface Science. - Elsevier BV. - 567. 2021, 150755 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Te-hyperdoped Si , Ion-implantation , Furnace annealing , Silicon telluride , Defect analysis , Raman spectroscopy , Transmission electron microscopy, Positron annihilation spectroscopy |
