Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haase, Micha* ; Melzer, Marcel ; Lang, Norbert ; Ecke, Ramona ; Zimmermann, Sven ; van Helden, Jean-Pierre H. ; Schulz, Stefan E.
On the relationship between SiF4 plasma species and sample properties in ultra low-k etching processes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 2158-3226 | |
| DOI: | doi:10.1063/1.5125498 | |
| Quelle: | In: AIP Advances. - AIP Publishing LLC. - 10. 2020, 6, 065212 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Etching product concentration measurements via QCLAS , Sample characterization via ellipsometry , Sample characterization via XPS | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
