Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Böttger, Simon ;
Bonitz, Jens ;
Al-Falahi, Falah ;
Schulz, Stefan E. ;
Hermann, Sascha
Lang, Klaus-Dieter (Hrsg.)
Functional carbon nanotubes for MEMS applications: Miniaturized strain sensor and black coating for infrared devices
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-5090-0 | |
| URL/URN: | https://www.vde-verlag.de/buecher/ivz/9783800750900_INHALT_01.pdf | |
| Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress (MST) 2019, Oktober 28-30, Berlin. - VDE-Verlag, 2019, S. 158-161 | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
