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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Fröhlich, Alexander ; Hofmann, Christian ; Rochala, Patrick ; Kimme, Jonas ; Kroll, Martin ; Kräusel, Verena

Selective Induction Heating of Metallic Microstructures for Wafer-Level MEMS Packaging

Selektive Induktionserwärmung von metallischen Mikrostrukturen für das Wafer-Level MEMS Packaging


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Umformendes Formgeben und Fügen
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: ISSN 2385-2933 , ISBN 978-88-89884-35-5
Quelle: International Conference on Heating by Electromagnetic Sources Padua (Italy), 22.-24.05.2019, Padua, SGEditoriali Padova, S. 377-382
Freie Schlagwörter (Deutsch): Induktionserwärmung , MEMS , MEMS Packaging
Freie Schlagwörter (Englisch): Induction Heating , MEMS , MEMS Packaging

 

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