Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Weißbach, Marie ; Auerswald, Ellen ; Hildebrandt, Marcus ; Rzepka, Sven
Multiscale residual stress analysis in thin film layers
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-3-95735-082-4 | |
Quelle: | Smart Systems Integration SSI, 11-12 April, Dresden, pp. 515-518 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | NanoEIS+ |