Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Goßler, Christian* ; Kunzer, Michael ; Baum, Mario ; Wiemer, Maik ; Moser, Rüdiger ; Passow, Thorsten ; Köhler, Klaus ; Schwarz, Ulrich T. ; Wagner, Joachim
Aluminum-germanium wafer bonding of (AlGaIn)N thin-film light-emitting diodes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Experimentelle Sensorik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0946-7076 (Print) ; 1432-1858 (Online) | |
| DOI: | doi:10.1007/s00542-012-1709-4 | |
| Quelle: | In: Microsystem Technologies. - Springer Nature. - 19. 2013, 5, S. 655 - 659 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Wafer Bonding Scanning , Acoustic Microscopy , Eutectic Bonding , Electroluminescence Emission , Total Thickness Variation |
