Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Peter, Siegfried* ; Vasin, Yevgen ; Speck, Florian ; Schmidt, Marek ; Wittstock, Volker ; Seyller, Thomas
ECR plasma deposited a-SiCN:H as insulating layer in piezoceramic modules
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Förderung: | SFB | |
| Institut 1: | Professur Experimentalphysik mit dem Schwerpunkt Technische Physik | |
| Institut 2: | Professur Produktionssysteme und -prozesse | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0042-207X | |
| DOI: | doi:10.1016/j.vacuum.2018.05.055 | |
| Quelle: | In: Vacuum. - Elsevier B.V. - 155. 2018, S. 118 - 126 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | ECR plasma , Substrate bias , Silicon carbonitride , Mechanical properties , Electrical properties |
