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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Peter, Siegfried* ; Vasin, Yevgen ; Speck, Florian ; Schmidt, Marek ; Wittstock, Volker ; Seyller, Thomas

ECR plasma deposited a-SiCN:H as insulating layer in piezoceramic modules


Universität: Technische Universität Chemnitz
Förderung: SFB
Institut 1: Professur Experimentalphysik mit dem Schwerpunkt Technische Physik
Institut 2: Professur Produktionssysteme und -prozesse
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: ISSN: 0042-207X
DOI: doi:10.1016/j.vacuum.2018.05.055
Quelle: In: Vacuum. - Elsevier B.V. - 155. 2018, S. 118 - 126
Freie Schlagwörter (Englisch): ECR plasma , Substrate bias , Silicon carbonitride , Mechanical properties , Electrical properties

 

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