Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Arnold, Benjamin ; Meinecke, Christoph ; Reuter, Danny ; Otto, Thomas ; Mehner, Jan
Design, Herstellung und Charakterisierung von hochpräzisen Beschleunigungssensoren, gefertigt mittels HARMS Technologie und integrierter Elektrodenabstandsverringerung
Design, Fabrication and Characterization, of Highly Precise Acceleration Sensors, Fabricated in HARMS Technology with an Integrated Electrode Gap Reduction
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4491-6 | |
| Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress 2017, 23. - 25. Oktober 2017, München, pp. 582-585. - VDE VERLAG GMBH Berlin - Offenbach, 2017 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , HARMS , Gap Reduction , FEM |
