Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Wunderle, Bernhard ; Onken, Tim ; Heilmann, Jens ; Silbernagl, Dorothee ; Arnold, Jörg ; Bieniek, Tomasz ; Pufall, Reinhard
Reliability of Sputtered Thin Aluminium Films under Accelerated Stress Testing by Vibration loading and Modelling
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-5090-1402-6 Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-5090-1403-3 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1109/ESTC.2016.7764458 | |
| Quelle: | 6th Electronic System-Integration Technology Conference (ESTC), Sept 13-16, 2016, Grenoble, France. - IEEE, 2016 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Thin aluminium films , fatigue , vibration testing , atomic force microscopy , roughness , plastic strain |
