Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Gabler, Felix* ; Roscher, Frank ; Döring, Ralf ; Otto, Alexander ; Ziesche, S. ; Ihle, M. ; Celik, Y. ; Dietz, D. ; Goehlich, M. ; Kappert, H. ; Vogt, H. ; Naumann, F. ; Gessner, Thomas
Materials and technologies to enable high temperature stable MEMS and electronics for smart systems used in harsh environments
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-4673-8804-7 USB ISBN: 978-1-4673-8803-0 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1109/CSTIC.2016.7463912 | |
| Quelle: | Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), Shanghai (China), 2016 Mar 13-14, 2016 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Plasma temperature , Temperature measurement , Temperature sensors , Ceramics , Reliability , Bonding , Temperature , platinum, capacitors , ceramic packaging , CMOS integrated circuits , integrated circuit reliability , metallisation , micromechanical devices |
