Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Voigt, Sebastian ; Schmidt, Sarah ; Shaporin, Alexey ; Hiller, Karla ; Mehner, Jan
Experimentelle Analyse von thermischen Aktoren in BDRIE-Technologie
Experimental Analysis of MEMS thermal actuators fabricated us in BDRIE
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-054047-9 | |
| Quelle: | 13. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 25./26. 10. 2016. - Chemnitz, 2016, S. 83 - 84 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS , thermische Aktoren | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , thermal actuators |
