Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Foerster, Anja ; Wagner, Christian ; Schuster, Jörg ; Gemming, Sibylle
Theoretical investigation of in situ k-restore processes for damaged ultra-low-k dielectrics
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Theoretische Physik quantenmechanischer Prozesse und Systeme | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0167-9317 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.mee.2015.12.012 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering, online 24 December 2015. - Elsevier B.V. - 156. 2016, S. 121 - 125 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | k-Restore , Low-k materials , DFT , MD , Plasma repair |
