Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Wang, Wei-Shan ; Lin, Yu-Ching ; Gessner, Thomas ; Esashi, Masayoshi
Fabrication of nanoporous gold and the application for substrate bonding at low temperature
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN: 1347-4065 Print ISSN: 0021-4922 | |
| URL/URN: | doi:10.7567/JJAP.54.030215 | |
| Quelle: | In: Japanese Journal of Applied Physics. - 54. 2015, 3, 030215-1 - 030215-7 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | bonding technologies , Au , low temperature bonding |
