Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hille, Toni ; Blaudeck, Thomas ; Hermann, Sascha ; Schulz, Stefan E.
Dispersionsaufbereitung zur waferskaligen Herstellung von Mikrosensoren auf Basis halbleitender Kohlenstoffnanoröhren
Dispersion Preparation for Wafer-Level Liquid Processing of Carbon Nanotube Microsensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-047625-9 | |
| Quelle: | 12. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; Chemnitz (Germany), 2014 Oct 21-22; Proceedings, 2014 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | CNTs , carbon nanotubes |
