Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Förster, Anja ; Wagner, Christian ; Schuster, Jörg ; Friedrich, J.
Ab-initio study of the trimethylaluminum atomic layer deposition process on carbon nanotubes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.aldcoe.fi/bald2014/ | |
| Quelle: | 12th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition (Baltic ALD 2014), Helsinki (Finland), 2014 May 11-14 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Atomic Layer Deposition , CNTS , carbon nanotubes |
