Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Vogel, Klaus ; Haubold, Marco ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas
Overview of Wafer Bonding and Characterization of the Bonded Interface
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-932434-78-5 | |
| Quelle: | In: Smart Systems Integration for Micro- and Nanotechnologies. - Dresden : goldenbogen verlag, 2014, S. 473 - 481 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | wafer bonding |
