Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Baum, Mario ; Besser, Jan ; Wiemer, Maik ; Thanner, C. ; Kreindl, G. ; Wimplinger, M. ; Gessner, Thomas
Functional Nano Patterns realized by aligned Nano Imprint Lithography
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-86359-201-1 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration Conference 2014 (SSI), Vienna (Austria), 2014 Mar 26-27; Proceedings, pp 443-446. - Aachen : Apprimus Verlag, 2014 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | nanoimprint lithography, NIL |
