Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Baum, Mario ; Haubold, Marco ; Besser, Jan ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas
Biocompatibility evaluation of MEMS packaging materials for implantable devices
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.bmt2013.at/files/BMT2013_Abstraktband.pdf | |
| Quelle: | BMT 2013 Dreiländertagung der Deutschen, Schweizerischen und Österreichischen Gesellschaft für Biomedizinische Technik, Graz (Austria), 2013 Sept 19-21; Abstraktband, pp 573-574, 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | biocompatibility, MEMS, packaging, corrosion, hermeticity, chip size package CSP, implant |
