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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Lehmann, Daniel* ; Seidel, Falko ; Zahn, Dietrich R.T.

Thin films with high surface roughness: thickness and dielectric function analysis using spectroscopic ellipsometry


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Halbleiterphysik
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 2193-1801
URL/URN: doi:10.1186/2193-1801-3-82 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-136724
Quelle: In: SpringerPlus. - 82. 2014, 3, S. 1 - 8
SWD-Schlagwörter: Ellipsometrie, Rauigkeit, Schichtdicke, Dielektrische Funktion
Freie Schlagwörter (Deutsch): Rauheit , AFM , RMS , PTCDI
Freie Schlagwörter (Englisch): Ellipsometry , Roughness , Thickness , AFM , RMS , Dielectric function , PTCDI
DDC-Sachgruppe: Naturwissenschaften und Mathematik, Physik, Licht, Infrarot- und Ultraviolettphänomene
OA-Lizenz CC BY 2.0

 

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