Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Toader, Marius ; Fiedler, Holger ; Hermann, Sascha ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas ; Hietschold, Michael
Conductive AFM for characterization of MW-CNT-based via interconnect systems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0420-0195 | |
| Quelle: | DPG-Frühjahrstagung, 10.-15.3.2013, Regensburg. - Bad Honnef : Verhandlg. DPG, 2013. - Reihe VI; Band 48 |
