Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Foerster, Anja ; Wagner, Christian ; Schuster, Jörg ; Friedrich, Joachim
Ab-initio study of the trimethylaluminum atomic layer deposition process on carbon nanotubes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| ISBN/ISSN: | http://chemie.uni-erlangen.de/stc2013/zz_downloads/BoA_STC2013.pdf , chemie.uni-erlangen.de/stc2013/ | |
| Quelle: | 49th Symposium on Theoretical Chemistry 2013, Erlangen (Germany), 2013 Sep 22-26; Poster | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Carbon nanotubes, CNTs, ALD, TMA |
