Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Weiss, Alexander ; Besser, Jan ; Baum, Mario ; Saupe, Ray ; Otto, Thomas ; Gessner, Thomas
Fabrication of subwavelength holes using nanoimprint lithography
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1117/12.2014273 | |
| Quelle: | Proc. SPIE 8613, San Francisco, California (USA) , 2013 Feb 2-7; Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics VI, 86131N, 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | nanoimprint lithography , subwavelength holes |
