Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Knohl, Stefan ; Roy, Amit K. ; Lungwitz, Ralf ; Spange, Stefan ; Mader, Thomas ; Nestler, Daisy J. ; Wielage, Bernhard ; Schulze, Steffen ; Hietschold, Michael ; Wulff, Harm ; Helm, Christiane A. ; Seidel, Falko ; Zahn, Dietrich R. T. ; Goedel, Werner A.
Nonaqueous Atomic Layer Deposition of Aluminum Phosphate
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Physikalische Chemie | |
| Institut 2: | Forschung Prof. Spange | |
| Institut 3: | Professur Verbundwerkstoffe und Werkstoffverbunde | |
| Institut 4: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
| Institut 5: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Print Edition ISSN: 1944-8244, Web Edition ISSN: 1944-8252 | |
| URL/URN: | doi:10.1021/am401092z | |
| Quelle: | In: ACS Applied Materials & Interfaces . - 5 . 2013 , 13 , S. 6161 - 6167 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | coatings, ceramics, fibers, metal organic chemical vapor deposition, aluminum phosphate, atomic layer deposition |
