Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schulze, Robert ; Gessner, Thomas ; Schueller, Martin ; Forke, Roman ; Billep, Detlef ; Heinrich, M. ; Sborikas, M. ; Wegener, M.
Integration of Piezoelectric Polymer Transducers into Microsystems for Sensing Applications
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-1-4673-2668-1 | |
URL/URN: | doi:10.1109/ISAF.2012.6297771 | |
Quelle: | Applications of Ferroelectrics held jointly with 2012 European Conference on the Applications of Polar Dielectrics and 2012 International Symp Piezoresponse Force Microscopy and Nanoscale Phenomena in Polar Materials (ISAF/ECAPD/PFM), 2012 Intl Symp, Aveiro (Portugal), 2012 Jul 9-13 pp 1-4 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Piezoelectric Polymer Transducers , Microsystems for Sensing Applications |