Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Gao, Sai ; Wolff, Helmut ; Herrmann, Konrad ; Brand, Uwe ; Hiller, Karla ; Hahn, Susann ; Sorger, Alexander ; Mehner, Jan
A micro-SPM head array with exchangeable cantilevers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1117/12.922641 | |
| Quelle: | Optical Micro- and Nanometrology IV, 16-18 April 2012, Brussels, 2012. - Proceedings of Spie No. 8430 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Actuators , Head , Matrices , Microelectromechanical systems , Scanning probe microscopy , Simulations |
