Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hermann, Sascha ; Fiedler, Holger ; Loschek, Sergei ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Processes for wafer level integration of carbon nanotubes in electronic and sensor applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-039162-0 | |
| Quelle: | 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 2012 Oct 23-24, S. 89 - 91 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | wafer level integration , carbon nanotubes , electronic applications , sensor applications |
