Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Waechtler, T. ; Mueller, S. ; Fiedler, H. ; Melzer, M. ; Schulz, S.E. ; Gessner, T.
ALD of Metal and Metal Oxide Thin Films for Applications in ULSI Metallization Systems and Spintronic Layer Stacks
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.efds.org/tl_files/efds/downloads/Veranstaltungen/Workshops/2012/WSALD/Einladungsflyer%20WSALD.pdf | |
| Quelle: | EFDS Workshop on Atomic Layer Deposition, Dresden (Germany), 2012 Mar 7, 2012 |
