Ergebnis der Datenbankabfrage
Nr. | Titel | Autor | Jahr |
---|---|---|---|
1 | ALD of Metal and Metal Oxide Thin Films for Applications in ULSI Metallization Systems and Spintronic Layer Stacks | Waechtler, T. et al. | 2012 |
2 | Fabrication and Characterization of CNT via interconnects for application in integrated circuits | Fiedler, H. et al. | 2012 |
Anzahl der Ergebnisseiten: | 1 |
Anzahl der Dokumente: | 2 |