Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Wiemer, Maik ; Braeuer, Joerg ; Besser, Jan ; Wuensch, Dirk
Development trends in the field of wafer bonding technologies
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www.microtesting.de/WaferBond11/Start.html | |
| Quelle: | Conference on Wafer Bonding for Microsystems, 3D- and Wafer Level Integration, Chemnitz (Germany), 2011 Dec 6-8; Proceedings, pp. 13-14 |
