Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Frühauf, S. ;
Streiter, Isa ;
Puschmann, Rene ;
Schulz, Stefan E. ;
Gessner, Thomas ;
Chudoba, Thomas ;
Richter, Frank ;
Flannery, C. M.
Proc. Materials Week, München 2002, herausgeg. von Werkstoff-Informationsgesellschaft mbH (2003)
Electrical and Mechanical Properties of Porous Silicon Dioxide as an Ultra Low k Dielectric
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 3-88355-314-X | |
| Quelle: | Materials Week, München, 29. 9. - 2. 10. 2002, S. 151-152, 2003 |
