Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haworth, L. ; Lu, J. ; Hill, P. ; Westwood, D.I. ; Macdonald, J.E. ; Hartmann, N. ; Schneider, A. ; Zahn, Dietrich R. T.
Formation of an Sb-N Compound During Nitridation of InSb(001) Substrates Using Atomic Nitrogen
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1071-1023 | |
| URL/URN: | doi:10.1116/1.590158 | |
| Quelle: | In: Journal of Vacuum Science and Technology. Part B. Microelectronics and Nanometer Structures. - 16. 1998, 4, S. 2254 - 2260 |
