Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Gao, Sai ; Wolff, Helmut ; Brand, Uwe ; Hiller, Karla ; Hahn, Susann ; Sorger, Alexander ; Mehner, Jan
A comb-drive scanning-head array for fast SPM measurements
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1117/12.886938 | |
| Quelle: | Smart Sensors, Actuators and MEMS, 18 - 20 April 2011, Prague, Congress Ctr. - Proceedings SPIE. - 8066, 806626 (2011) |
