Oppermann, Hermann ; Dietrich, Lothar ; Klein, Matthias ; Wunderle, Bernhard
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1109/ESTC.2010.5643002 | |
| Quelle: | Proc. 3rd ESTC, Berlin, Germany, Sept. 13-16, 2010, 2010 |
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