Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Bonitz, Jens ; Bundesmann, Carsten ; Eichentopf, Inga-Maria ; Mändl, Stephan ; Neumann, Horst ; Kaufmann, Christian ; Gessner, Thomas
Hochreflektiver mikromechanischer Scanner für Materialbearbeitung und medizinische Anwendungen
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3061-2 | |
| Quelle: | Proceedings Mikrosystemtechnik-Kongress 2007. - Berlin, Offenbach : VDE VERLAG GMBH, 2007, S. 513 - 516 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Mikrospiegel , hochreflektive Beschichtung , Lasermaterialbearbeitung |
