Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Michael, Steffen ; Voigt, Sebastian ; Knechtel, Roy
Stressidentifikation dünner Membranstrukturen mittels dynamischerMessungen
Stress identification of thin membrane structures measuring the dynamic behaviour
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-032052-1 | |
| Quelle: | 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Tagungsband, S. 51-54, 2010 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS , Membran , Stress , Parameteridentifikation , Vibrometrie , Modalanalyse | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , membrane , stress , parameter identification , vibrometry , modal analysis |
