Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Voigt, Sebastian ; Tenholte, Dirk ; Franke, David ; Reuter, Danny ; Hiller, Karla ; Geßner, Thomas ; Mehner, Jan
Gütebestimmung von MEMS-Strukturen im Zeitbereich mittelsLaser Doppler Vibrometer und einem Logarithmierer
Time domain Q-Measurement of MEMS Structures using a laser doppler vibrometer and a logarithmizer
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-032052-1 | |
| Quelle: | 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Tagungsband, S. 55-59, 2010 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS , Gütefaktor , Resonator , Gyroskop , Vakuum | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , Q-Factor , Resonator , Gyroscope , Vacuum |
