Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Forke, Roman ; Scheibner, Dirk ; Mehner, Jan ; Gessner, Thomas ; Dötzel, Wolfram
Electrostatic force coupling of MEMS oscillators for spectral vibration measurements
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0924-4247 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.sna.2007.04.004 | |
| Quelle: | In: Sensors and Actuators A: Physical. - Vol. 142, Issue 1, 2008, S. 276 - 283 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Force coupling , Vibration detection , Superheterodyne principle , Spectrum analyzer |
