Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kolchuzhin, Vladimir ;
Forke, Roman ;
Dötzel, Wolfram ;
Mehner, Jan
Gessner, T.
High Order Derivatives Technology in Advanced MEMS Modeling
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 9783898396166 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration 2009, 10-11 March, Brussels, Belgium. - Heidelberg : AKA, 2009. - S. 472 - 475 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | parametric MEMS modeling , macromodeling |