Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haenel, Jens ; Keiper, Bernd ; Bleul, Karsten ; Kaufmann, Christian ; Bonitz, Jens
Laser Trimming of Micro Mirror Devices. : Ultrashort UV-Laserpulses Allow Ultra-precise Processing.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1613-7728 | |
| URL/URN: | doi:10.1002/latj.200790204 | |
| Quelle: | In: Laser Technik Journal. - 5. 2008, 1, S. 36 - 39 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | micro mirror devices , laser trimming |
