Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Lerner, Ralf ; Eckoldt, Uwe ; Schottmann, Klaus ; Heinz, Steffen ; Erler, Klaus ; Lange, André ; Ebest, Gunter
Time dependent isolation capability of high voltage deep trench isolation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-1-4244-1532-8 | |
| Quelle: | 20th International Symposium on Power Semiconductors Devices and ICs, May 2008, ISPSD '08, Orlando, 2008 |
