Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Tenholte, Dirk ; Kurth, Steffen ; Gessner, Thomas ; Dötzel, Wolfram
A MEMS friction vacuum gauge suitable for high temperature environment
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0924-4247 (print), 1873-3069 (online) | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.sna.2007.05.031 | |
| Quelle: | Sensors and Actuators, A: Physical. - 142. 2008, 1, S. 166 - 172 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Air damping , Gas friction , High temperature , Vacuum gauge |
