Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Mohammadi, Arash* ; Boldeiu, George ; Vasilache, Dan ; Ziaei, Afshin ; Wunderle, Bernhard
Design of Single-Port Surface Acoustic Wave(SAW) Resonator on GaN Wafer as Stress Tester System for Micro and Nano Structures
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Förderung: | EU | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-9300-2 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-9301-9 ; Electronic ISSN: 2833-8596 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2833-8553 | |
| DOI: | doi:10.1109/EuroSimE65125.2025.11006632 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/11006632 | |
| Quelle: | 26th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), 2025 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | surface acsoustic waves , SAW , finite element , high-cycle fatigue , UHCF , HCF , micro/nano-structures , lifetime , reliability , cyclic stress loading , coupling of modes |
