Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Sayyed, Mudassir Ali ; Seifert, Tom ; Zieger, Stephan ; Schwarzenberg, Simeon ; Deshmukh, Aditya ; Haase, Micha ; Langer, Jan
A Multi-Model Dataset for BOSCH Plasma-Etching: Optical Emission Spectra, Process Parameters, and Wafer Measurements for Data-Driven Plasma Modeling
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Data Set | |
| DOI: | doi:10.5281/zenodo.17122442 | |
| URL/URN: | https://zenodo.org/records/17122442 | |
| Quelle: | Zenodo. 2025 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Plasma-Etching , Data-Driven Plasma Modeling | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
