Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Forke, Roman ; Scheibner, Dirk ; Dötzel, Wolfram ; Mehner, Jan
Tunable Frequency Selective Vibration Detection with MEMS Force Coupled Oscillators
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-025217-4 | |
| Quelle: | Eurosensors XXII, 2008 Sep 7-10, Dresden (Germany), pp. 1573-1576, 2008 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Force coupling , Vibration sensor , Capacitive MEMS |
