Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Sayyed, Mudassir Ali* ; Rothe, Tom ; Langer, Jan ; Haase, Micha ; Huhn, Harald
Real-Time End Point Detection via Automated Dynamic Mode Decomposition
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-6091-2 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-6092-9 ; Electronic ISSN: 2576-7208 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 0730-9244 | |
| DOI: | doi:10.1109/ICOPS58192.2024.10627217 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=10627217 | |
| Quelle: | 2024 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS), 2024 June 16-20, Beijing (China). - IEEE, 2024 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Endpoint Detection , Dynamic Mode Decomposition , Integration Process , Chemical Changes , Semiconductor Industry , Spectral Clustering , Plasma Etching , Non-invasive Nature , Plasma Species , Manual Error , Plasma Chamber |
