Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Johrmann, Nathanael* ; Ecke, Ramona ; Wunderle, Bernhard
Simulations for nanoindentation on thin metal films and the potential influence of creep
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-6654-1373-2 ; 978-1-6654-1374-9 | |
| DOI: | doi:10.1109/eurosime52062.2021.9410851 | |
| Quelle: | 22nd International Conference on Thermal, Mechanical and Multiphysics Simulation and Experiments in Micro-Electronics and Micro-Systems EuroSimE, 19-21 April 2021, St. Julian, Malta. - IEEE, 2021 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | creep , thin film , nanoindentation , simulation |
